高纯气体管道氦气检漏方法主要有以下几种：
i. 向内泄漏检测法（氦气喷射法/氦气喷射法）
方法：对高纯气体管道内部进行真空处理，然后从外部向管道中喷射氦气。
检测原理：通过检测管道内部是否吸入氦气，判断是否有泄漏。
泄漏率要求：测得的泄漏率应不大于 1 × 10 ^-9 mbar ·L/S.
二、阀座检漏方法
如何作： 在阀门上游填充氦气，同时向下游拉真空。
检测原理：通过检测是否下游氦气来判断阀座是否泄漏。
泄漏率要求：测得的泄漏率应不大于 1 × 10 ^-6 mbar ·L/S.
三、向外检漏法（吸枪法）
作方法：用氦气或氦-氮混合物填充高纯气体管道，然后用外吸枪检查可能的泄漏。
检测原理：通过检测外吸枪是否吸入氦气，判断是否有泄漏。
泄漏率要求：测得的泄漏率应不大于 1 × 10 ^-6 mbar ·L/S.